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本文描述了在其上记录有指令的非瞬态计算机可读介质，指令被实施用于评估设计布局的所选图案集合的方法。方法包括：获得(i)由图案选择过程产生的第一图案集合，(ii)与第一图案集合相关联的第一图案数据，(iii)与第一图案数据相关联的特性数据，以...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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