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具有设置有保护层的布线的半导体装置制造方法及图纸
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下载具有设置有保护层的布线的半导体装置的技术资料
文档序号:36738963
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提供了具有设置有保护层的布线的半导体装置。所述半导体装置包括:下结构,包括器件和下布线结构;绝缘层,设置在下结构上;过孔,穿透绝缘层;布线图案,在绝缘层和过孔上;以及氧化硅层,覆盖布线图案,并且包括氢,其中,布线图案包括第一导电层、第二导电...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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