下载栅极结构和包括该栅极结构的半导体器件的技术资料

文档序号:36738961

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本公开涉及一种栅极结构,包括:第一栅电极,包括金属;栅极阻挡图案,在第一栅电极上,并且包括金属氮化物;以及第二栅电极,在栅极阻挡图案上。栅极结构被掩埋在衬底的上部中。栅极阻挡图案具有平坦的上表面和不平坦的下表面。表面。表面。
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