温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本文中描述一种用于基于失效率来确定图案化过程的过程窗口的方法。所述方法包括：(a)获得被印制于衬底上的多个特征；(b)基于指标将所述特征分组为多个组；和(c)基于与特征组相关联的测量数据来产生所述特征组的基础失效率模型，其中，所述基础失效率...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。