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本发明涉及一种光学系统，特别是光刻系统(100A)，包括：孔径光阑(202)，其具有带边缘(206)的孔径(204)，用于界定该光学系统(100A)的光路(200)的外周界(200a)；以及热光阑(208)，其布置在孔径光阑(202)的上游...该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。
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