下载具有不同尺寸的接触点的半导体元件及其制备方法的技术资料

文档序号:36736572

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本公开提供一种半导体元件以及该半导体元件的制备方法。该半导体元件具有一基底,包括一密集区以及一开放区;一介电结构,设置在该基底上;一着陆垫,设置在该介电结构中且设置在该密集区上;一第一接触点,设置在该着陆垫上以及设置在该介电结构中;以及一第...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。

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