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本发明提供了一种关键尺寸的控制方法与控制系统，该控制方法包括：建立光刻胶的曝光剂量与关键尺寸变异值的对应关系的第一数据库；获取关键尺寸的实际变异值，根据实际变异值与第一数据库，获取曝光剂量的第一修正量；建立光刻胶的烘烤与显影之间的等待时间与...
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