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本实用新型公开了一种晶圆检测自动上下料输送机构，底板的四个拐角位置处固定有支撑脚，底板的底部中心处安装有第一伺服电动缸，第一伺服电动缸的伸缩端与底板正上方的升降板连接，升降板的顶部安装有第二伺服电动缸，第二伺服电动缸的伸缩端固定在延伸板底部...
该专利属于涌淳半导体（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过涌淳半导体（无锡）有限公司授权不得商用。

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