下载一种干涉量测量方法、系统、设备及介质的技术资料

文档序号:36707670

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本发明具体涉及一种干涉量测量方法、系统、设备及介质,方法包括以下步骤:S1:将两个干涉的部件定义为部件A和部件B;S2:设定部件B为基准测量部件,将部件A和部件B在交接面上形成的干涉点进行标记;S3:将部件A与部件B干涉量最大点位置标记为5...
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