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揭露一种用于使颗粒成像的系统及一种光强度测量系统。用于使颗粒成像的系统包括成像装置。成像装置具有透镜和检测器。激光源被配置成发射激光束。检测器被配置成累积穿过透镜的累积光的强度。累积光被颗粒散射。颗粒在给定的时段内通过激光束。定的时段内通过...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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