下载使用具有结特征的载体衬底保护集成电路系统免受等离子体感应的静电放电的技术的技术资料

文档序号:36701374

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提供了使用具有集成结的载体衬底保护集成电路免受等离子体感应的静电放电(ESD)的技术。根据一些实施例,多个半导体器件上方的互连区域内的各种金属特征电耦接到接合载体衬底上的一个或多个导电焊盘。导电焊盘提供到载体衬底内的下层掺杂区域的接触,该下...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。

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