下载光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质的技术资料

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一种光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质,光学邻近修正方法包括:提供设计图形,设计图形包括多个主图形,主图形具有直角拐角;对所述主图形进行光学邻近效应修正处理,获得修正后图形,所述光学邻近效应修正处理包括对所述直角拐角进行倒角处理...
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