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本公开提供一种图案形成装置的调节与保护系统及方法，该系统包括：安装板(1)；吸盘(2)，固定于所述安装板(1)的下方，用于吸附和释放图案形成装置(3)；调节机构(5)，固定于所述安装板(1)的下方且环绕于所述图案形成装置(3)的周围，用于调...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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