一种图案形成装置的调节与保护系统及方法制造方法及图纸

本公开提供一种图案形成装置的调节与保护系统及方法，该系统包括：安装板(1)；吸盘(2)，固定于所述安装板(1)的下方，用于吸附和释放图案形成装置(3)；调节机构(5)，固定于所述安装板(1)的下方且环绕于所述图案形成装置(3)的周围，用于调节所述图案形成装置(3)在平面上的移动和旋转，以使所述图案形成装置(3)到达目标位置；保护机构(6)，固定于所述安装板(1)的下方且环绕于所述图案形成装置(3)的周围，并与所述调节机构(5)错开设置，用于承托保护所述图案形成装置(3)避免其在工作过程中掉落。本公开的系统可实现图案形成装置目标位置的高精度调节，并提供常开保护。并提供常开保护。并提供常开保护。

【技术实现步骤摘要】
一种图案形成装置的调节与保护系统及方法


[0001]本公开涉及光刻设备
，具体涉及一种图案形成装置的调节与保护系统及方法。

技术介绍

[0002]图案形成装置(掩模或掩模版)密切关联着曝光的结果，影响着检焦、对准和工件台(含晶圆)等分系统的空间布局和功能的实现，因此图案形成装置的精密装载定位十分关键。
[0003]投影光刻设备中，图案形成装置位于投影物镜上方，装载空间完全可以满足图案形成装置安装在六轴调节平台上方，因此对图案形成装置的装载定位要求较低。即使传输机械手无法将图案形成装置装载到目标位置时，也可以通过六轴调节平台调整到目标定位精度。
[0004]在接触、接近或近场光刻中，图案形成装置与晶圆的间距仅为微米及以下，甚至是接触状态，为了便于图案形成装置的自动传输装载，图案形成装置只能倒立吸附安装在吸盘上。这将带来两个方面难题：一是装载和调节图案形成装置的所有结构都必须高于图案形成装置图案面，以实现晶圆紧贴图案形成装置进行步进光刻，但是这样就完全没有空间安装用于图案形成装置位置修正的六轴调节平台；二是倒立安装会带来图案形成装置掉落的风险，故急需在满足图案形成装置自动化传输的前提下，实现图案形成装置的有效保护。

技术实现思路

[0005](一)要解决的技术间题
[0006]针对上述问题，本公开提供了一种图案形成装置的调节与保护系统及方法，用于解决传统调节与保护系统难以安装、难以为图案形成装置提供有效保护等技术问题。
[0007](二)技术方案
[0008]本公开一方面提供了一种图案形成装置的调节与保护系统，包括：安装板；吸盘，固定于安装板的下方，用于吸附和释放图案形成装置；调节机构，固定于安装板的下方且环绕于图案形成装置的周围，用于调节图案形成装置在平面上的移动和旋转，以使图案形成装置到达目标位置；保护机构，固定于安装板的下方且环绕于图案形成装置的周围，并与调节机构错开设置，用于承托保护图案形成装置避免其在吸附和释放过程，以及吸盘真空源突然停止工作时掉落。
[0009]进一步地，调节机构包括至少三组第一执行单元，每组中的两个第一执行单元相对设置，以调节图案形成装置在X、Y、RZ正反方向上的运动。
[0010]进一步地，应用于矩形的图案形成装置，调节机构包括三组第一执行单元，其中两组第一执行单元位于矩形的第一组对边上，另一组第一执行单元位于矩形的第二组对边的中间。
[0011]进一步地，应用于圆形的图案形成装置，调节机构包括三组第一执行单元，三组第
一执行单元均匀分布于圆形的圆周上。
[0012]进一步地，每个第一执行单元包括：位移台，固定于安装板的下方，安装有绝对编码器、位移传感器或零位开关；推杆，与位移台滑动连接，末端为球形以与图案形成装置点接触；在位移台的驱动下前后步进以推动图案形成装置或为图案形成装置的移动提供空间。
[0013]进一步地，保护机构包括至少四个第二执行单元，第二执行单元均匀分布于图案形成装置的周围。
[0014]进一步地，每个第二执行单元包括：腔体，固定于安装板的下方；推杆、弹簧，设于腔体内，用于调节保护板的移动距离；导向杆，设于腔体内，用于进行旋转定位导向；密封圈，设于腔体内，用于确保腔体内的密封；空压接口，设于腔体外，用于调节气压以调节弹簧的伸缩，当不为空压接口供气时，弹簧将推杆预压至可承托图案形成装置的位置，提供常开保护；保护板，与推杆、导向杆连接；保护板的前端与图案形成装置的保护切口匹配设计，用于承托保护图案形成装置。
[0015]进一步地，调节机构和保护机构的下表面均不低于图案形成装置的下表面。
[0016]进一步地，还包括：视觉模块，用于采集图案形成装置的装载位置信息；封装板，设于安装板的下方，用于封装调节机构和保护机构；传输模块，用于进行图案形成装置在光刻设备内外的传输；控制器，用于控制调节机构和保护机构的运行；控制系统，用于处理视觉模块采集的装载位置信息和控制吸盘、控制器、传输模块的运行。
[0017]本公开另一方面提供了一种图案形成装置的调节与保护方法，包括：S1，利用视觉模块采集图案形成装置的装载状态信息；S2，根据装载状态信息利用调节机构调节图案形成装置在平面上的移动和旋转，以使图案形成装置到达目标位置，其中调节机构固定于安装板的下方且环绕于图案形成装置的周围；S3，利用吸盘吸附图案形成装置，其中吸盘固定于安装板的下方；其中，在整个工作过程中，利用保护机构承托保护图案形成装置避免其掉落，其中保护机构固定于安装板的下方且环绕于图案形成装置的周围，并与调节机构错开设置。
[0018](三)有益效果
[0019]本公开的图案形成装置的调节与保护系统及方法，在安装板下方、图案形成装置的周围设置调节机构，通过调节机构对图案形成装置的侧边施加推力调节其在平面上的移动和旋转，从而使图案形成装置到达目标位置，满足调节空间限制的要求；同时，在安装板下方、图案形成装置的周围设置保护机构，通过保护机构可承托图案形成装置，为图案形成装置提供常开保护。
附图说明
[0020]图1示意性示出了根据本公开实施例中图案形成装置的调节与保护系统的结构示意图；
[0021]图2示意性示出了根据本公开实施例中图案形成装置为矩形时调节机构中第一执行单元的安装位置的仰视图；
[0022]图3示意性示出了根据本公开实施例中图案形成装置为圆形时调节机构中第一执行单元的安装位置的仰视图；
[0023]图4示意性示出了根据本公开实施例中调节机构的结构示意图；
[0024]图5示意性示出了根据本公开实施例中图案形成装置为矩形时保护机构中第二执行单元的安装位置的仰视图；
[0025]图6示意性示出了根据本公开实施例中保护机构的结构示意图；
[0026]图7示意性示出了根据本公开实施例中图案形成装置调节方法的流程图；
[0027]附图标记说明：
[0028]1，安装板；2，吸盘；3，图案形成装置；4，视觉模块；5，调节机构；5A，位移台；5B，推杆；5
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1、5
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2、5
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3、5_4、5
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5、5
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6，第一执行单元；6，保护机构；6A，腔体；6B，推杆；6C，弹簧；6D，导向杆；6E，密封圈；6F，空压接口；6G，保护板；6
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1、6
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2、6
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3、6_4，第二执行单元；7，封装板；8，传输模块；9，控制器；10，控制系统。
具体实施方式
[0029]为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本公开进一步详细说明。
[0030]在此使用的术语仅仅是为了描述具体实施例，而并非意在限制本公开。在此使用的术语“包括”、“包含”等表明了所述特征、步骤、操作和/或部件的存在，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、步骤、操作或本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种图案形成装置的调节与保护系统，其特征在于，包括：安装板(1)；吸盘(2)，固定于所述安装板(1)的下方，用于吸附和释放图案形成装置(3)；调节机构(5)，固定于所述安装板(1)的下方且环绕于所述图案形成装置(3)的周围，用于调节所述图案形成装置(3)在平面上的移动和旋转，以使所述图案形成装置(3)到达目标位置；保护机构(6)，固定于所述安装板(1)的下方且环绕于所述图案形成装置(3)的周围，并与所述调节机构(5)错开设置，用于承托保护所述图案形成装置(3)避免其在工作过程中掉落。2.根据权利要求1所述的图案形成装置的调节与保护系统，其特征在于，所述调节机构(5)包括至少三组第一执行单元，每组中的两个第一执行单元相对设置，以调节所述图案形成装置(3)在X、Y、RZ正反方向上的运动。3.根据权利要求2所述的图案形成装置的调节与保护系统，其特征在于，应用于矩形的图案形成装置(3)，所述调节机构(5)包括三组第一执行单元，其中两组第一执行单元位于矩形的第一组对边上，另一组第一执行单元位于矩形的第二组对边的中间。4.根据权利要求2所述的图案形成装置的调节与保护系统，其特征在于，应用于圆形的图案形成装置(3)，所述调节机构(5)包括三组第一执行单元，三组第一执行单元均匀分布于所述圆形的圆周上。5.根据权利要求2所述的图案形成装置的调节与保护系统，其特征在于，每个所述第一执行单元包括：位移台(5A)，固定于所述安装板(1)的下方，安装有绝对编码器、位移传感器或零位开关；推杆(5B)，与所述位移台(5A)滑动连接，末端为球形以与所述图案形成装置(3)点接触；在所述位移台(5A)的驱动下前后步进以推动所述图案形成装置(3)或为所述图案形成装置(3)的移动提供空间。6.根据权利要求1所述的图案形成装置的调节与保护系统，其特征在于，所述保护机构(6)包括至少四个第二执行单元，所述第二执行单元均匀分布于所述图案形成装置(3)的周围。7.根据权利要求6所述的图案形成装置的调节与保护系统，其特征在于，每个所述第二执行单元包括：腔体(6A)，固定于所述安装板(1)的下方；推杆(6B)、弹簧(6C)，设于所述腔体(6A)内，用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵承伟，张煜，龚天诚，王彦钦，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：