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本实用新型属于石英产品清洗技术领域领域，提供了一种用于除去石英罩表面金属离子的超纯水溢流装置，包括水槽、带孔平台、平台支撑和溢流管道；所述带孔平台设置在水槽内部，以使得水槽内部在带孔平台上侧形成蓄水腔；所述平台支撑设置在带孔平台下表面并与水...
该专利属于江苏凯威特斯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏凯威特斯半导体科技有限公司授权不得商用。

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