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本发明公开了一种沉积组件及半导体装置，该沉积组件包括绝缘支撑件、电极板以及绝缘间隔套，电极板为至少两个，电极板套设在绝缘支撑件上，且至少两个电极板间隔设置，绝缘间隔套套设在绝缘支撑件上，且绝缘间隔套的两端分别止抵在相邻的两个电极板上，绝缘间...
该专利属于深圳市拉普拉斯能源技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市拉普拉斯能源技术有限公司授权不得商用。

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