下载异质结双极晶体管结构及其形成方法的技术资料

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一种异质结双极晶体管结构及其形成方法,其中形成方法包括:提供衬底,所述衬底包括基底、集电极、初始基极以及初始发射极;在初始发射极上形成发射极电极;以发射极为掩膜,采用干法刻蚀工艺刻蚀初始发射极形成发射极;在初始基极上形成基极电极;对初始基极...
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