温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种外延生长托盘，涉及微电子技术领域，该外延生长托盘包括托盘本体，托盘本体的上侧表面设置有用于容置衬底的第一凹槽，托盘本体的下侧表面具有吸热区域，吸热区域与第一凹槽相对应，且至少在吸热区域设置有粗糙化结构，以使吸热区域的表面...
该专利属于苏州能讯高能半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州能讯高能半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。