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异物检查基板具备检查基板、照射器以及受光器。在所述检查基板贯通形成有供处理液通过的通过部。所述照射器用于对所述处理液照射检查光。所述受光器接受由于所述处理液中的异物在所述检查光中通过而产生的散射光、或者由于所述处理液中的异物在所述检查光中通...
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