异物检查基板、基板处理装置以及基板处理方法制造方法及图纸

异物检查基板具备检查基板、照射器以及受光器。在所述检查基板贯通形成有供处理液通过的通过部。所述照射器用于对所述处理液照射检查光。所述受光器接受由于所述处理液中的异物在所述检查光中通过而产生的散射光、或者由于所述处理液中的异物在所述检查光中通过而衰减的透射光。所述受光器包括用于将接受到的所述散射光或所述透射光转换为电信号的光电转换元件。所述照射器和所述受光器设置于所述检查基板。查基板。查基板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】异物检查基板、基板处理装置以及基板处理方法


[0001]本公开涉及一种异物检查基板、基板处理装置以及基板处理方法。

技术介绍

[0002]专利文献1所记载的涂布模块具备：旋转保持盘，其用于从基板的下方水平地保持基板；喷嘴，其用于向保持于旋转保持盘的基板的上表面喷出药液；以及杯，其用于回收从保持于旋转保持盘的基板甩出的药液。在杯的侧方设置有异物检测单元。异物检测单元具备激光照射部、受光部以及流路阵列。激光照射部与受光部被设置为以将流路阵列从前后夹在中间的方式彼此相向。激光照射部向从流路阵列的多个流路中选择的一个流路进行照射。受光部接受从流路透射的光。
[0003]专利文献2所记载的2种治具基板被用于搬送机器人的自动示教。一种治具基板是被检测侧治具基板。被检测侧治具基板具备圆盘状的治具主体和从该治具主体的中心垂直地立起的圆柱形状的被检测部。另一种治具基板是传感器侧治具基板。传感器侧治具基板具备在中央形成有用于接受被检测部的圆形的孔的圆盘状的治具主体、以及相向配置于孔的边缘的发光部及受光部。传感器侧基板被保持于第一基板保持部，被检测侧基板被保本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种异物检查基板，具备：检查基板，在该检查基板贯通形成有供处理液通过的通过部；照射器，其用于对所述处理液照射检查光；受光器，其接受由于所述处理液中的异物在所述检查光中通过而产生的散射光、或者由于所述处理液中的异物在所述检查光中通过而衰减的透射光，其中，所述受光器包括用于将接受到的所述散射光或所述透射光转换为电信号的光电转换元件，所述照射器和所述受光器设置于所述检查基板。2.根据权利要求1所述的异物检查基板，其特征在于，还具备位置检测器，所述位置检测器检测所述处理液的液流的中心线相对于所述检查光的中心线的相对位置。3.根据权利要求1或2所述的异物检查基板，其特征在于，还具备传递部，所述传递部将由所述受光器生成的所述电信号向外部送出以及/或者从外部接受由所述照射器消耗的电力。4.根据权利要求3所述的异物检查基板，其特征在于，所述传递部包括用于与外部的搬送装置的端子抵接的端子。5.根据权利要求4所述的异物检查基板，其特征在于，具备吸附部，所述吸附部用于被所述搬送装置的电磁体吸附。6.根据权利要求4或5所述的异物检查基板，其特征在于，具备定位部，所述定位部用于相对于所述搬送装置进行定位。7.一种基板处理装置，具备：根据权利要求1至6中的任一项所述的异物检查基板；多个液处理模块，所述多个液处理模块用于对基板供给所述处理液；搬送装置，其用于向多个所述液处理模块搬送所述基板；以及控制装置，其用于控制所述异物检查基板、所述液处理模块以及所述搬送装置，其中，所述控制装置使所述搬送装置将所述异物检查基板依次搬送到多个所述液处理模块并使得在多个所述液处理模块的各液处理模块中实施所述检查光的照射和所述电信号的生成，通过对所述电信号进行解析来测量所述异物。8.根据权利要求7所述的基板处理装置，其特征在于，多个所述液处理模块的各液处理模块对所述基板依次供给多种所述处理液，所述控制装置使得在多个所述液处理模块的各液处理模块中针对每种所述处理液实施所述检查光的照射和所述电信号的生成。9.根据权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，还具备：分配模块，其用于将多种所述处理液分配...

【专利技术属性】
技术研发人员：小杉仁，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：