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一种包括透明晶体的系统，其至少一部分嵌入在处理腔室的壁及衬垫内。该透明晶体具有近端与远端，远端具有暴露于处理腔室内部的远端表面。透明薄膜沉积在远端表面上，并且具有与衬垫基本相符的化学性质。光耦合装置用于：将来自光源的光透射通过透明晶体的近端...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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