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铜电极组装装置及电化学电镀设备制造方法及图纸
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文档序号:36615211
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本实用新型提供一种铜电极组装装置及电化学电镀设备,所述铜电极组装装置用于将至少两个铜块组装成铜电极,所述铜电极组装装置包括:底座,用于放置所述至少两个铜块;至少两个隔板,垂直地设置于所述底座上,所述隔板将相邻两个所述铜块隔开,以使得相邻两个...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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