温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于非制冷红外探测器技术领域，公开了一种新型微桥结构及其制备方法。所述微桥结构包括桥面以及锚柱，所述锚柱用于支撑桥面并连通桥面和衬底；所述锚柱包括通孔介质以及分布于通孔介质中的多根金属通孔柱，所述多根金属通孔柱将桥面和衬底连通。本发明...
该专利属于安徽光智科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽光智科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。