温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

基板处理系统具备测定装置、搬送装置、图制作装置以及评价装置。测定装置测定由对基板进行第一工序的处理的第一处理装置进行第一工序后的基板的错误。搬送装置在包括第一处理装置、第二处理装置以及所述测定装置的多个装置间搬送基板，该第二处理装置对基板进...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。