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披露了一种图案形成装置预对准传感器系统。所述系统包括至少一个照射源，所述至少一个照射源被配置成提供沿法线方向朝向图案形成装置的入射束。所述系统还包括沿所述法线方向的物镜组通路，所述物镜组通路被配置成从所述图案形成装置接收0阶折射束。所述系统...
该专利属于ASML控股股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML控股股份有限公司授权不得商用。

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