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本发明提供能够抑制具有翘曲的基板损伤的基板支承装置以及基板处理装置。实施方式的基板支承装置在基板处理装置的处理容器内支承基板，具备：载放板，包括陶瓷而构成，具有供基板载放的载放面；供电板，内置于载放板，使载放板静电地吸附基板；多个突起部，内...
该专利属于铠侠股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过铠侠股份有限公司授权不得商用。

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