下载一种晶圆测量分选装置的技术资料

文档序号:36586058

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本实用新型公开了一种晶圆测量分选装置,包括底座,所述底座的底部分别固定连接有支腿,所述支腿的底部设置有垫板,所述底座的下表面分别设置有合格品收集箱、分选箱以及不合格品收集箱,所述底座的内部分别开设有与合格品收集箱、分选箱以及不合格品收集箱相...
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