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本申请涉及一种薄膜厚度确定方法、装置、计算机设备和存储介质。所述薄膜厚度确定方法包括：获取待检测芯片的薄膜材料信息；根据薄膜材料信息、实时温度信息和预先设置的电阻率数据库，确定待检测芯片对应的电阻率信息；电阻率数据库记载薄膜材料、温度值和电...
该专利属于广州粤芯半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州粤芯半导体技术有限公司授权不得商用。

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