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本发明涉及半导体制造设备技术领域，更具体的说，涉及一种半导体设备腔体盖板自对中装置。本发明提供的半导体设备腔体盖板自对中装置，包括公头部件和母头部件：所述公头部件，固定在盖板上；所述母头部件，固定在腔体上，安装位置与公头部件相对应；盖板关闭...
该专利属于拓荆科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技股份有限公司授权不得商用。

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