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一种α相氧化镓晶体的制备方法技术
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文档序号:36523028
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本发明提供的一种α相氧化镓晶体的制备方法。通过设计腔体结构、选定坩埚及熔盐材料,成功在高温高压的六面顶压机内生长出α相氧化镓晶体。上述方法包括以下步骤:取一定粒度的5N氧化镓粉末(β相)和熔盐材料按一定比例充分混合后进行静压成型;在手套箱内...
该专利属于北京镓和半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京镓和半导体有限公司授权不得商用。
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