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本实用新型涉及一种具有实时监控功能的MPCVD设备，具有实时监控功能的MPCVD设备包括反应腔室和采集模块，反应腔室包括顶盖和底座，反应腔室上设有观察窗，采集模块包括采集装置和安装支架，顶盖上表面的外边缘处设有沿圆周方向分布的至少两个法兰孔...
该专利属于河南天璇半导体科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南天璇半导体科技有限责任公司授权不得商用。

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