一种具有实时监控功能的MPCVD设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种具有实时监控功能的MPCVD设备，具有实时监控功能的MPCVD设备包括反应腔室和采集模块，反应腔室包括顶盖和底座，反应腔室上设有观察窗，采集模块包括采集装置和安装支架，顶盖上表面的外边缘处设有沿圆周方向分布的至少两个法兰孔，底座上设有连接孔，安装支架上设有固定孔，固定孔的数量少于法兰孔的数量，各法兰孔中具有用于与固定孔对应的共用法兰孔，共用紧固件穿设在固定孔、共用法兰孔、连接孔中以将安装支架、顶盖、底座固定在一起，观察窗有至少两个，观察窗沿圆周方向分布且分布位置与共用法兰孔的位置相互对应，观察窗的窗口与采集装置相对，可根据不同需要，将采集装置安装在顶盖圆周方向上的合适位置，使用灵活。使用灵活。使用灵活。

【技术实现步骤摘要】
一种具有实时监控功能的MPCVD设备


[0001]本技术涉及MPCVD设备
，具体涉及一种具有实时监控功能的MPCVD设备。

技术介绍

[0002]微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法因其放电稳定，便于控制且无电极污染等优势成为制备高品质单晶金刚石的首选方法。在MPCVD设备正常生产过程中，为了及时处理异常，需要掌握单晶金刚石的生长情况，一般是通过温度采集和图像采集来对金刚石的生长过程进行监控。传统的监控方式是生产人员每隔一段时间观察并用手持测温装置或手持拍照设备记录一次单晶金刚石的生长情况，但是，随着MPCVD设备的增多这大大增加了员工工作量和企业的人力成本。
[0003]现有技术中，有通过将监控设备固定在MPCVD设备上进行在线监控的方式，如申请公布号为CN110760816A的中国专利技术专利申请中公开的金刚石在线检测生长装置，其包括反应腔室、图像采集模块，图像采集模块包括光学相机测量装置和转轴机构(安装支架)，光学相机测量装置设置在反应腔室的外部，反应腔室呈圆柱状，包括顶盖和底座，光学相机测量装置通过转轴机构与反应腔室上顶盖的固定部件活动连接，光学相机测量装置透过观察窗口实时地拍摄反映腔室内金刚石的生长情况，确保金刚石的生长质量。
[0004]上述将图像采集模块设置在反应腔室上进行监控的方式，虽然能够避免通过人工手持设备进行监控，但是，反应腔室上的观察窗往往会设置多个，以便于根据情况选择合适的角度进行观察，而上述这种图像采集模块的位置相对固定，仅能从有限的角度通过对应的一个观察窗进行监控，使用不够灵活。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种具有实时监控功能的MPCVD设备，以解决现有的具有采集模块的MPCVD设备使用不灵活的问题。
[0006]本技术的具有实时监控功能的MPCVD设备的技术方案是：
[0007]一种具有实时监控功能的MPCVD设备，包括反应腔室和采集模块，反应腔室包括顶盖和底座，顶盖盖设在底座上以围成反应腔室的内腔，反应腔室上设有观察窗，采集模块包括采集装置和安装支架，采集装置安装在安装支架上，顶盖包括法兰盘，顶盖上表面的外边缘处设有沿圆周方向分布的至少两个法兰孔，底座的上端面设有与法兰孔一一对应的连接孔，以供顶盖与底座通过紧固件进行固定连接，安装支架上设有固定孔，固定孔的数量少于法兰孔的数量，各法兰孔中具有用于与固定孔对应的共用法兰孔，各紧固件中具有共用紧固件，共用紧固件穿设在固定孔、共用法兰孔、连接孔中以将安装支架、顶盖、底座固定在一起，观察窗有至少两个且窗口朝上，观察窗沿圆周方向分布且分布位置与所述共用法兰孔的位置相互对应，而使观察窗的窗口能够与采集装置相对。
[0008]有益效果：通过在MPCVD设备的反应腔室的顶盖上设置法兰孔，以及在采集模块的
安装支架上设置固定孔，这样在组装MPCVD设备的过程中，在将其顶盖与底座通过紧固件进行固定连接的同时，还可选择合适的法兰孔作为共用法兰孔，“借用”给采集模块作为“安装基础”，即将采集模块的安装支架固定孔与共用法兰孔对应，从而能够利用紧固件将安装支架与顶盖固定在一起，这样一方面减少了原本需要独立搭建的采集模块安装基础，另一方面，由于法兰孔的数量比固定孔的数量多，从而能够通过选择不同位置的法兰孔供安装支架固定连接，进而在安装采集模块时，可根据不同的监控需要，根据共用法兰孔与观察窗在圆周方向上分布位置的相互对应关系，将采集装置设置在顶盖圆周方向上的合适位置，并与相应的观察窗对应，使用较为灵活。
[0009]进一步地，安装支架上设有限位弧面，限位弧面用于与顶盖的外周面适配贴合。
[0010]有益效果：通过设置与顶盖外周面贴合的限位弧面，在安装支架与顶盖通过共用紧固件固定后，在受到扭力时，能够利用限位弧面将作用力传递到顶盖上，有利于减小紧固件受力，保证连接可靠。
[0011]进一步地，限位弧面上设有凸耳，所述固定孔设置在凸耳上，顶盖上设有凸耳安装槽，凸耳安装槽的槽口朝上且具有处于顶盖外周面上的侧开口，所述法兰孔设置在凸耳安装槽的槽底，凸耳安装槽供凸耳伸入。
[0012]有益效果：通过在顶盖上设置凸耳安装槽供安装支架上的凸耳伸入，方便安装操作，而且，方便凸耳与限位弧面的加工。
[0013]进一步地，顶盖的上表面为球面结构，观察窗的窗口倾斜朝上，采集装置处于顶盖的外围且处于观察窗的上方。
[0014]有益效果：使得观察窗的窗口倾斜朝上，有利于与处于顶盖外围的采集装置正对，能够减小采集装置与观察窗之间的距离，方便对采集装置观察到内腔。
[0015]进一步地，采集模块为图像采集模块，采集装置为相机，相机包括相机外壳，相机外壳上设有外螺纹，安装支架上设有调节螺纹孔，相机外壳螺纹穿装在安装支架上的调节螺纹孔内。
[0016]有益效果：通过在相机外壳上设置外螺纹，以螺纹连接在安装支架上的调节螺纹孔内，从而能够通过旋转相机而调整相机镜头与观察窗窗口之间的距离，以进行调焦。
[0017]进一步地，安装支架包括旋转台和连接座，所述调节螺纹孔设置在连接座上，连接座转动设置在旋转台上，连接座的转动轴线与调节螺纹孔的轴线垂直。
[0018]有益效果：将相机安装在连接座上，连接座安装在旋转台上，连接座旋转时能够带动相机转动，方便调节相机镜头角度。
[0019]进一步地，安装支架还包括安装座和支撑座，所述固定孔设置在安装座上，支撑座包括水平延伸部和竖直延伸部，旋转台安装在竖直延伸部上，水平延伸部沿连接座转动轴线的延伸方向滑动设置在安装座上，安装座上设有固定结构，固定结构用于在支撑座的水平延伸部滑动到设定位置时将水平延伸部与安装座固定。
[0020]有益效果：使支撑座滑动设置在安装座上，并且使其滑动方向与连接座转动轴线的延伸方向一致，从而配合调节螺纹孔、旋转台的设置，实现相机的多自由度调节。
[0021]进一步地，采集模块为温度采集模块，采集装置为测温装置，测温装置的外壳上设有外螺纹，安装支架上设有调节螺纹孔，测温装置的外壳螺纹穿装在安装支架上的调节螺纹孔内。
[0022]有益效果：通过旋转测温装置可以改变测温装置与观察窗窗口之间的距离，以方便调整测温距离。
[0023]进一步地，安装支架包括连接座、滑台、安装座，所述固定孔设置在安装座上，调节螺纹孔设置在连接座上，连接座安装在滑台上，滑台固定在安装座上，滑台用于供连接座相对安装座滑动设置。
[0024]有益效果：通过使连接座可相对于安装座滑动，从而配合调节螺纹孔，能够相对灵活地调节测温装置的位置。
[0025]进一步地，安装支架上的固定孔设有两个，两固定孔与相邻两个法兰孔对应，在顶盖的圆周方向上，观察窗处于相邻两个法兰孔之间。
[0026]有益效果：通过在相邻两个法兰孔之间设置观察窗，从而能够利用两个法兰孔之间的空间使观察窗靠近顶盖的外圆，从而方便与采集装置靠近，以方便采集信息。
附图说明
[0027]图1为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有实时监控功能的MPCVD设备，包括反应腔室和采集模块，反应腔室包括顶盖(1)和底座(2)，顶盖(1)盖设在底座(2)上以围成反应腔室的内腔，反应腔室上设有观察窗(11)，采集模块包括采集装置和安装支架，采集装置安装在安装支架上，其特征是，顶盖(1)包括法兰盘，顶盖(1)上表面的外边缘处设有沿圆周方向分布的至少两个法兰孔(12)，底座(2)的上端面设有与法兰孔(12)一一对应的连接孔，以供顶盖(1)与底座(2)通过紧固件进行固定连接，安装支架上设有固定孔(33)，固定孔(33)的数量少于法兰孔(12)的数量，各法兰孔(12)中具有用于与固定孔(33)对应的共用法兰孔，各紧固件中具有共用紧固件，共用紧固件穿设在固定孔(33)、共用法兰孔、连接孔中以将安装支架、顶盖(1)、底座(2)固定在一起，观察窗(11)有至少两个且窗口朝上，观察窗(11)沿圆周方向分布且分布位置与所述共用法兰孔的位置相互对应，而使观察窗(11)的窗口能够与采集装置相对。2.根据权利要求1所述的具有实时监控功能的MPCVD设备，其特征是，安装支架上设有限位弧面(31)，限位弧面(31)用于与顶盖(1)的外周面适配贴合。3.根据权利要求2所述的具有实时监控功能的MPCVD设备，其特征是，限位弧面(31)上设有凸耳(32)，所述固定孔(33)设置在凸耳(32)上，顶盖(1)上设有凸耳安装槽，凸耳安装槽的槽口朝上且具有处于顶盖(1)外周面上的侧开口，所述法兰孔(12)设置在凸耳安装槽的槽底，凸耳安装槽供凸耳(32)伸入。4.根据权利要求1或2或3所述的具有实时监控功能的MPCVD设备，其特征是，顶盖(1)的上表面为球面结构，观察窗(11)的窗口倾斜朝上，采集装置处于顶盖(1)的外围且处于观察窗(11)的上方。5.根据权利要求1或2或3所述的具有实时监...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔名扬，李宏利，方海江，任丽，郑逢达，
申请(专利权)人：河南天璇半导体科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：