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基板清洗液、清洗过的基板的制造方法以及器件的制造方法技术
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文档序号:36496809
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[问题]得到能够清洗基板、并除去微粒的基板清洗液。[解决方案]提供一种基板清洗液,其含有不溶或难溶的溶质(A)、可溶的溶质(B)和溶剂(C),其中溶剂(C)包含水(C
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该专利属于默克专利有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过默克专利有限公司授权不得商用。
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