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半导体光检测元件制造技术
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文档序号:36496609
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本发明的光检测元件(10)具备:半导体基板(16),其具有被检测光入射的主面(16a)、及背对主面(16a)的背面(16b),在主面(16a)侧具有产生与被检测光的光强度相应的量的电荷的一个或多个光检测区域(11);及光吸收膜(13),其设...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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