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一种离子注入装置(20)，包括能量过滤器(25)，能量过滤器(25)具有热能耗散表面区域，其中能量过滤器(25)包括膜，膜包括第一表面以及与第一表面相对设置的第二表面，第一表面是结构化表面。结构化表面。结构化表面。
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该专利属于MI2工厂有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过MI2工厂有限责任公司授权不得商用。

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