下载过孔结构及其制备方法以及过孔结构的阻抗的调节方法的技术资料

文档序号:36445984

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开实施例公开了一种过孔结构及其制备方法以及过孔结构的阻抗的调节方法。其中,所述过孔结构包括:第一过孔、第二过孔以及第一连接通孔;所述第一连接通孔位于所述第一过孔和所述第二过孔之间,且覆盖部分所述第一过孔和部分所述第二过孔;分别位于所述第...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。