下载沉积处理装置的技术资料

文档序号:36375027

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本实用新型属于膜层沉积技术领域,公开了一种沉积处理装置,沉积处理装置包括炉体,炉体内设有进气板和抽气板,抽气板与进气板相对设置,以能够使基体设置于二者之间;进气板和抽气板上具有均匀分布的第一气孔,进气板和抽气板上还具有第二气孔,第二气孔与第...
该专利属于深圳市拉普拉斯能源技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市拉普拉斯能源技术有限公司授权不得商用。

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