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本发明实施例提供一种晶圆调节装置、反应腔室及晶圆调节方法，晶圆调节装置包括：升降模块，所述升降模块具有用于承载晶圆的第一承载面，所述第一承载面可相对于基准面上升至预设最高位置或下降至预设最低位置；承载模块，所述承载模块具有第二承载面，所述第...
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