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用于半导体清洗的夹具制造技术
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下载用于半导体清洗的夹具的技术资料
文档序号:36236439
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本实用新型涉及半导体领域,具体涉及一种用于半导体清洗的夹具,该用于半导体清洗的夹具,包括用于将待清洗物限位在待清洗物装配位置上的旋转基座,所述夹具还设置有清洗组件;所述清洗组件包含与待清洗物装配位置对应的且位于旋转基座同侧的多个药剂输出部;...
该专利属于成都高真科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都高真科技有限公司授权不得商用。
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