下载用于半导体清洗的夹具的技术资料

文档序号:36236439

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及半导体领域,具体涉及一种用于半导体清洗的夹具,该用于半导体清洗的夹具,包括用于将待清洗物限位在待清洗物装配位置上的旋转基座,所述夹具还设置有清洗组件;所述清洗组件包含与待清洗物装配位置对应的且位于旋转基座同侧的多个药剂输出部;...
该专利属于成都高真科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都高真科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。