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本发明公开了一种基于压电材料的声表面滤波器，包括：设于主基板和盖板键合连接形成的封装结构内的子基板、输入输出端口、金属层、IDT功能区域和复合压电层；其中，所述复合压电层包括至少三个子压电层，所述子压电层采用的靶材为掺杂元素和基础元素形成的...
该专利属于深圳新声半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳新声半导体有限公司授权不得商用。

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