下载晶圆测试方法、装置、设备及存储介质的技术资料

文档序号:36184903

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本公开提供一种晶圆测试方法、装置、设备及存储介质,晶圆测试方法包括:获取晶圆的批次信息和多组预设测试条件;基于每组预设测试条件,对同批次晶圆中预设数量的裸片分别进行测试,获得每组预设测试条件对应的目标采样时间点;根据每组预设测试条件及其对应...
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