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用于带电粒子显微镜的再入式气体系统技术方案
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下载用于带电粒子显微镜的再入式气体系统的技术资料
文档序号:36179612
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用于带电粒子显微镜的再入式气体系统。本文公开了用于再入式流体递送技术的设备和系统。实例系统至少包含在第一电势与第二电势之间延伸的流体递送管道,其中所述流体递送管道形成为倾斜的螺旋状,使得流动穿过所述流体递送管道的流体经历贯穿所述流体递送管道...
该专利属于FEI公司所有,仅供学习研究参考,未经过FEI公司授权不得商用。
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