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晶锭评估方法技术
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文档序号:36177511
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本发明提供一种晶锭评估方法,包括下述步骤。分别基于多个晶锭各自的第一端的第一晶片与第二端的第二晶片的缺陷信息来获得多个统计参数。测量各晶锭的第一端的第一弯曲度与其第二端的第二弯曲度,借此将晶锭标记至对应的多个种类中的其中一个。基于所述晶锭的...
该专利属于环球晶圆股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过环球晶圆股份有限公司授权不得商用。
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