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本公开内容的实施方式一般涉及清洁基板表面的方法及系统。在一个实施方式中，提供处理基板的方法。此方法包括通过将基板定位在基板支撑件上将基板引进至处理腔室的处理空间。此方法进一步包括将第一处理气体流入处理空间中，第一处理气体包括HF，将第二处理...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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