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提供了一种用于在真空处理系统中移动装置(110)的驱动单元(120)。所述驱动单元包括：一个或多个电磁体(124)，所述一个或多个电磁体具有一个或多个线圈(126)；以及外壳(122)。所述一个或多个电磁体布置在所述外壳内。所述外壳进一步包...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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