用于在真空处理系统中运输装置的设备和方法制造方法及图纸

提供了一种用于在真空处理系统中移动装置(110)的驱动单元(120)。所述驱动单元包括：一个或多个电磁体(124)，所述一个或多个电磁体具有一个或多个线圈(126)；以及外壳(122)。所述一个或多个电磁体布置在所述外壳内。所述外壳进一步包括覆盖所述一个或多个电磁体的肋结构(130)。所述肋结构进一步具有在朝向所述一个或多个电磁体的共同方向上延伸的一个或多个结构(132)。或多个结构(132)。或多个结构(132)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于在真空处理系统中运输装置的设备和方法


[0001]本公开内容的实施方式涉及用于运输装置的设备和方法，特别是用于在处理期间运载基板或掩模的载体。更具体地，本公开内容涉及用于在真空处理系统中采用磁悬浮运输装置的设备和方法。

技术介绍

[0002]用于在基板上进行层沉积的技术包括例如溅射沉积、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和热蒸发。所涂覆的基板可用于若干应用和若干
中。例如，所涂覆的基板可用于显示装置的领域中。显示装置可用于制造电视机屏幕、计算机显示器、移动电话、其他手持装置等来显示信息。典型地，通过用不同材料的层堆叠涂覆基板来生产显示器。
[0003]为了沉积层堆叠，可使用直列处理模块布置。直列处理系统包括多个处理模块，诸如沉积模块以及任选地另外的处理模块，例如清洁模块和/或蚀刻模块，其中处理方面随后在处理模块中进行，使得多个基板可在直列处理系统中连续地或准连续地进行处理。
[0004]基板可由载体(即，用于在真空系统中运载基板的运载装置)支撑。典型地使用运输系统来将运载基板的载体运输通过真空系统。运输系统可以是磁悬浮系统，使得可非接触地或基本上非接触地运输载体。
[0005]虽然磁悬浮系统具有许多优点，但是在真空系统中增强和加速装置的运输是有挑战性的。例如，真空处理系统中使用的磁悬浮系统中的驱动效率取决于需要考虑的多种因素。
[0006]因此，需要提供用于运输装置(诸如载体)的改善的系统和方法(特别是对于真空处理系统)，该系统和方法克服了现有技术的问题中的至少一些问题。

技术实现思路

[0007]鉴于上文，提供了一种用于在真空处理系统中移动装置的驱动单元。所述驱动单元包括：一个或多个电磁体，所述一个或多个电磁体具有一个或多个线圈；以及外壳，所述一个或多个电磁体布置在所述外壳内。所述外壳包括覆盖所述一个或多个电磁体的肋结构，所述肋结构具有在朝向所述一个或多个电磁体的共同方向上延伸的一个或多个结构。
[0008]根据本公开内容的一方面，提供了一种用于在真空处理系统中移动装置的驱动单元。所述驱动单元包括：一个或多个电磁体，所述一个或多个电磁体具有一个或多个芯；以及外壳，所述一个或多个电磁体布置在所述外壳内。所述外壳包括覆盖所述驱动单元的肋结构，所述肋结构具有在远离所述一个或多个电磁体的共同方向上延伸的一个或多个结构。
[0009]根据本公开内容的另一方面，提供了一种运输设备、特别是磁性运输设备。所述运输设备包括：根据本文描述的实施方式的驱动单元；以及装置，所述装置包括用于与所述驱动单元的所述一个或多个电磁体相互作用的一个或多个第一磁性对应物。
[0010]根据本公开内容的另一方面，提供了一种真空处理设备。所述真空处理设备包括：一个或多个真空腔室；以及根据本文描述的实施方式的运输设备，所述运输设备设置在所述一个或多个真空腔室内部。
[0011]根据本公开内容的另一方面，提供了一种用于移动装置的方法。所述方法包括：提供具有外壳和肋结构的驱动单元，所述肋结构包括在共同方向上延伸并覆盖布置在所述外壳中的一个或多个电磁体的一个或多个结构；以及通过使用所述驱动单元来移动所述装置。
[0012]实施方式还涉及用于进行所公开的方法的设备并且包括用于执行每个描述的方法方面的设备部分。这些方法方面可借助于硬件部件、由适当软件编程的计算机、这两者的任何组合或以任何其他方式执行。此外，根据本公开内容的实施方式还涉及用于操作所描述的设备的方法。它包括了用于进行所述设备的每一功能的方法方面。
附图说明
[0013]为了可详细地理解本公开内容的上文记载的特征，可参考实施方式来得到上文简要地概述的本公开内容的更特别的描述。附图涉及本公开内容的实施方式并被描述如下：
[0014]图1示出了根据本文描述的实施方式的驱动单元和装置的侧视图；
[0015]图2示出了根据本文描述的实施方式的驱动单元的侧视图；
[0016]图3A示出了根据本文描述的实施方式的驱动单元的前视图；
[0017]图3B示出了根据本文描述的实施方式的肋结构的底视图；
[0018]图4示出了根据本文描述的实施方式的真空处理设备；并且
[0019]图5示出了根据本文描述的实施方式的方法的流程图。
具体实施方式
[0020]现在将详细地参考本公开内容的各种实施方式，这些实施方式的一个或多个示例示出于各图中。在以下对附图的描述中，相同的附图标记是指相同的部件。一般来讲，仅描述了相对于各别实施方式的差异。每个示例以说明本公开内容的方式提供，并且不意在作为本公开内容的限制。另外，被示出或描述为一个实施方式的部分的特征可在其他实施方式上或结合任何其他实施方式使用，以产生又一个实施方式。说明书旨在包括此类修改和变化。
[0021]在真空处理系统中，装置的运输是确保元件的连续处理和高成品率的基本过程。例如，装置可以是支撑要在真空处理系统中处理的基板的载体。
[0022]为了允许平稳运输，悬浮运输设备可用于在真空处理系统内运输装置。例如，可使用用于将装置运输通过系统的磁悬浮系统。除其他特征外，这些系统可包括驱动单元，例如线性马达，以用于以基本上非接触方式提供装置的移动。
[0023]驱动单元通常包括若干致动器或电磁体，这些致动器或电磁体向布置在要运输的装置处的若干磁性对应物提供力，使得该装置可沿驱动单元在运输方向上移动。然而，在真空环境中提供驱动单元是有挑战性的，因为电磁体的许多机械和电气部件是不支持真空的。例如，在真空环境中提供电磁体可能导致大脱气率和处理系统污染。
[0024]此外，在要运输的装置与驱动单元之间的距离可能影响装置的运输。特别是，距离
越大，从驱动单元朝向装置的力的传递越差。然而，该距离也取决于设置在驱动单元中的电磁体，尤其是取决于用于将电磁体与驱动单元的周围环境(例如，与真空环境)分离的屏蔽件的厚度。例如，驱动单元的常规膜屏蔽件通常包括相对高的厚度以提供机械稳定性并承受在真空处理系统中在驱动单元与真空环境之间出现的压力差。
[0025]鉴于上文，提供一种适合在真空环境中使用并提供改善的运输的驱动单元是有益的。
[0026]根据本文描述的实施方式，提供了用于在真空处理系统中移动装置的驱动单元。驱动单元包括：一个或多个电磁体，该一个或多个电磁体具有一个或多个线圈；以及外壳。一个或多个电磁体布置在外壳内。外壳进一步包括覆盖一个或多个电磁体的肋结构。肋结构进一步具有在朝向一个或多个电磁体的共同方向上延伸的一个或多个结构。
[0027]根据本文描述的另外的实施方式，提供了用于在真空处理系统中移动装置的驱动单元。驱动单元包括：一个或多个电磁体，该一个或多个电磁体具有一个或多个芯；以及外壳。一个或多个电磁体布置在外壳内。外壳进一步包括覆盖一个或多个电磁体的肋结构。肋结构进一步具有在远离一个或多个电磁体的共同方向上延伸的一个或多个结构。
[0028]将理解，本文描述的实施方式可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在真空处理系统中移动装置(110)的驱动单元(120)，所述驱动单元包括：一个或多个电磁体(124)，所述一个或多个电磁体具有一个或多个线圈(126)；以及外壳(122)，所述一个或多个电磁体布置在所述外壳(122)内；其中所述外壳包括覆盖所述一个或多个电磁体(124)的肋结构(130)，所述肋结构具有在朝向所述一个或多个电磁体(124)的共同方向上延伸的一个或多个结构(132)。2.根据权利要求1所述的驱动单元(120)，其中所述一个或多个结构在朝向所述一个或多个线圈(126)的共同方向上延伸。3.根据权利要求1或2中任一项所述的驱动单元(120)，其中所述肋结构(130)包括非磁性材料，特别是选自由聚合物、陶瓷和不锈钢组成的群组的非磁性材料。4.根据权利要求1至3中任一项所述的驱动单元(120)，其中所述一个或多个电磁体(124)包括一个或多个芯(128)，所述一个或多个芯中的每个芯被布置为与所述一个或多个线圈(126)中的一个线圈相邻，其中每个芯包括高度c1，所述高度c1大于所述线圈中的每一者的高度c2。5.根据权利要求4所述的驱动单元(120)，其中所述肋结构包括布置在所述一个或多个芯(128)处的覆盖部分，所述覆盖部分具有高度d2，所述高度d2小于所述肋结构的所述一个或多个结构(132)的高度d1。6.根据权利要求4所述的驱动单元(120)，其中所述肋结构包括连续覆盖部分，特别是在所述肋结构的中心部分处。7.一种用于在真空处理系统中移动装置(110)的驱动单元(220)，所述驱动单元包括：一个或多个电磁体(224)，所述一个或多个电磁体具有一个或多个芯(228)；以及外壳(222)，所述一个或多个电磁体布置在所述外壳(222)内；其中所述外壳包括覆盖所述驱动单元(220)的肋结构(230)，所述肋结构具有在远离所述一个或多个电磁体(224)的共同方向上延伸的一个或多个结构(232)。8.根据权利要求7所述的驱动单元(220)，其中所述一个或多个结构(232)在远离所述一个或多个芯(228)的共同方向上延伸。9.根据权利要求7或8中任一项所述的驱动单元(220)，其中所述肋结构(230)包括布置在一个或多个线圈(226)处的覆盖部分(234)，所述覆盖部分具有高度h2，所述高度h2小于所述肋结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：克里斯托夫，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：