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半导体装置的制造装置以及半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:36104671
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半导体装置的制造装置10包括:多个处理头14f、14s,为了对共同的引线框架100的互不相同的位置实施规定的处理而彼此隔开地设置,且所述多个处理头14f、14s分别具有摄像机18f、18s;以及控制器30,控制所述多个处理头的驱动,且所述控...
该专利属于株式会社新川所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社新川授权不得商用。
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