下载一种带有补偿沟道的IGBT芯片的技术资料

文档序号:36096561

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本发明涉及一种带有补偿沟道的IGBT芯片,其元胞内设置左发射极区及左接触孔,右发射极区及右接触孔,P型基区内形成偏左和偏右的两个P+深阱区,这使得即使各接触孔发生一定偏移,主发射极区一侧的导电沟道阈值升高、电流降低,但左发射极区或右发射极区...
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