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本发明属于半导体制造辅助装置技术领域,具体涉及一种晶圆检测治具,包括依次设置的晶圆取出装置、晶舟承载装置、晶圆承载装置以及晶圆放入装置,所述晶圆取出装置与晶圆放入装置包括相对设置的手动滑台机构,所述手动滑台机构上装配有多个推送板,所述晶舟承...该专利属于滁州钰顺企业管理咨询合伙企业(有限合伙)所有,仅供学习研究参考,未经过滁州钰顺企业管理咨询合伙企业(有限合伙)授权不得商用。
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本发明属于半导体制造辅助装置技术领域,具体涉及一种晶圆检测治具,包括依次设置的晶圆取出装置、晶舟承载装置、晶圆承载装置以及晶圆放入装置,所述晶圆取出装置与晶圆放入装置包括相对设置的手动滑台机构,所述手动滑台机构上装配有多个推送板,所述晶舟承...