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半导体结构及其制作方法以及存储器系统技术方案
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文档序号:36091444
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本公开实施例公开了一种半导体结构及其制作方法以及存储器系统,所述制作方法包括:提供半导体层,形成覆盖所述半导体层的牺牲层;蚀刻所述牺牲层和所述半导体层以形成柱状结构;其中,所述柱状结构包括半导体柱和牺牲部,所述牺牲部覆盖所述半导体柱的一端;...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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